凈化車間施工過程中需要注意的方面:
1、首先確認施工工程的設計圖紙和要求,形成合理的方案。各個部門之間要相互溝通,研究作業過程中必須注意的事項。
2、檢查施工過程中所有的用的材料,設備是否達到所需要的標準,檢查合格后方可使用。
3、施工過程中注意施工進度及質量,施工檢查記錄表和施工驗收記錄應及時填寫,文件與工程要同步。
4、凈化車間施工過程要有先后順序,可以同時施工但是要注意彼此之間的關系,不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料應該有防雨雪等措施,防止材料氧化腐朽,重要的器材要設置專門的保護區。
5、嚴格執行施工管理制度,現場要做好安全防護以及所有施工人員的安全培訓。
6、節能環保,在凈化車間施工過程中,運輸、儲存、施工過程中,禁止嚴禁污染環境。
無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵室在安裝管道和線路的時候,如果需要焊接作業,應該準備好消防滅火設備和石棉板等,發生危險情況,可以及時處理。在安裝管道和線路要嚴格安裝規范進行施工,安裝后還需要測試安裝質量,一般是使用水壓進行試驗,如果不允許使用水壓進行測試,可以采用氣壓進行測量,也應該做好安全防護工作。如果和原有管道進行連接,先要了解管道的特性,安裝工作應該由專業的施工人員進行操作,并配備消防滅火器材。如果管道輸送的是高純度的氣體和液體,嚴格按照規范進行施工外,還需要對管道進行清洗、吹掃后對純度進行測試。