光學微電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫1藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。是將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
凈化車間的潔凈度級別通常分為:百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導體廠、印刷廠、汽車工業、航天工業、光刻和微機制造等行業中。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級,還需要保證能達到除靜電的效果。在十萬級凈化車間中,塵粒1大允許數≥0.5微米的粒子數不允許超過350萬個;換氣次數:10-15次/小時;壓差:主車間相對相鄰房間≥5pa;溫度:冬季>16℃±2℃;夏季小于26℃±2℃;相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風補充量:總送風量的20%-30%;照度大于等于300Lux。
無塵車間的關鍵設計特性: 1、依據無塵車間制造的商品的類型、應用狀況,明確設計無塵車間的操縱目標及技術規定。如對微生物無塵車間,其操縱目標是空氣中的塵粒、微生物;而不一樣商品或主要用途的無塵車間,對空氣潔凈室等級、空氣中帶有的微生物類型和濃度值、壓力差等的規定是不一樣的。 2、為保證無塵車間內所務必的空氣潔凈度等級,無塵車間設計中涉及的每個技術專業設計均應采用妥當的、靠譜的技術對策,以降低或避免房間內粉塵、滋長微生物,降低或阻攔將顆粒/微生物或將會會導致交叉式環境污染的原材料帶到無塵車間內,合理地將房間內顆粒/微生物排出來,以降低或避免他們停留在無塵車間內。針對因塵粒/微生物或原材料的交叉式環境污染會傷害產品品質或生命安全時,還應采用安全性、靠譜的技術對策避免感1染,如嚴控不一樣主要用途的無塵車間中間的負壓差,按規定有效地區劃空調凈化排風系統軟件及其送風系統軟件、家用新風系統的妥當設計等。 3、無塵車間設計是各工業生產設計技術規定的綜合性,特別是在是無塵車間的加工工藝設計、工程建筑設計、空氣清潔設計和各種各樣特別要求的設計技術的緊密協作、互相滲入和科學安排的綜合性設計。無塵車間應保證依照生產流程、有效挑選油煙凈化器和設備、竭盡全力保持人1流和貨運物流的暢順短捷、氣旋流型挑選恰當、空調凈化系統設置有效、各種各樣特別要求的技術對策恰當,無塵車間的平面圖、中央空調布局有效,保持靠譜經濟形勢的無塵車間設備。