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為了保證凈化工程的潔凈度，確保產品質量，需尊從以下規程：
1.凈化工程應保持清潔，房間內不得有明顯顆粒物存在，每天都必須進行清潔打掃，清潔時應由身著凈化工程潔凈工作服的人員先擦洗地面、墻面、天花和設備，然后用不產塵的干凈抹布擦拭潔凈室。
2.凈化工程于該區域生產操作人員和經批準的人員進入，非經允許嚴禁人員隨便出入，并且人員進出時要注意隨時關門。
3.人員必須經風淋室吹淋至少15秒后方能進入潔凈室，在更衣間，應脫掉外套換潔凈服和潔凈帽和潔凈鞋以及口罩，潔凈工作服應選用質地光滑、防靜電、不脫落纖維和顆粒性物質的材料。
4.穿潔凈服時應注意的事項有：衣扣應扣緊，不得把內衣翻露在外，且凈化工程潔凈工作服要經常清洗。
5.潔凈室內工作人員應盡量減少走動，減少氣流干擾，不得化濃妝和佩帶外飾物，操作人員好戴潔凈手套進行操作。在工作活動中，要禁量考慮減少發塵量。
6.所有物品必須進行擦拭（洗）干凈方可進入潔凈室，物品應經傳遞窗或風淋室緩沖后再進入潔凈室。
無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵室在安裝管道和線路的時候，如果需要焊接作業，應該準備好消防滅火設備和石棉板等，發生危險情況，可以及時處理。在安裝管道和線路要嚴格安裝規范進行施工，安裝后還需要測試安裝質量，一般是使用水壓進行試驗，如果不允許使用水壓進行測試，可以采用氣壓進行測量，也應該做好安全防護工作。如果和原有管道進行連接，先要了解管道的特性，安裝工作應該由專業的施工人員進行操作，并配備消防滅火器材。如果管道輸送的是高純度的氣體和液體，嚴格按照規范進行施工外，還需要對管道進行清洗、吹掃后對純度進行測試。
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