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無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
隨著現代化生產的發展及工業技術的升級換代，對于無塵清潔生產及其環境的要求越來越高，比如無塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨，室內空氣含塵量盡量的低，有很多無塵車間凈化廠房，還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業生產凈化廠房對室內凈化程度要求外，很多科研、教學、實驗、醫院也對室內空氣凈化程度有很高要求。
無塵室有五個特性：
（l）耐久性；無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。（2）成本；（3）適應性；（4）可維護性；（5）清洗；在制藥和生物工學工業，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性1病毒或細菌的污染之特性。
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